SRM610 玻璃(li)基(ji)質標準(zhun)品微量元(yuan)素(su)檢(jian)測

SRM610 玻璃(li)基(ji)質標準(zhun)品是(shi)NIST精(jing)心研制(zhi)的(de)壹種(zhong)玻璃(li)基(ji)質標準(zhun)參(can)考物質(zhi)，專(zhuan)門用(yong)於開發(fa)和(he)完(wan)善(shan)玻璃(li)中痕量元(yuan)素(su)的(de)化學分析(xi)方(fang)法(fa)。該(gai)標準(zhun)品的(de)壹(yi)個(ge)單元(yuan)包(bao)含四(si)個(ge)晶圓(yuan)片，這(zhe)些晶(jing)圓(yuan)是(shi)從(cong)手拉棒上切(qie)割(ge)而成，每片厚(hou)度(du)約3毫米，橫截面呈(cheng)橢(tuo)圓(yuan)形(xing)至圓(yuan)形(xing)，標稱(cheng)直徑(jing)在12毫(hao)米至14毫米之(zhi)間。 

 SRM 610的玻璃(li)載(zai)體(ti)基質(zhi)具(ju)有(you)特定(ding)的(de)化(hua)學(xue)成分，包(bao)含約72%的SiO₂（二(er)氧化矽(gui)）、14%的(de)Na₂O（氧化鈉(na)）、12%的CaO（氧化鈣(gai)）和2%的(de)Al₂O₃（氧化鋁）。這(zhe)種精(jing)確控制(zhi)的基質(zhi)組(zu)成為微量元(yuan)素(su)分(fen)析提供了(le)穩(wen)定壹致的背(bei)景(jing)環(huan)境(jing)。

微量元(yuan)素(su)組(zu)成與(yu)認(ren)證(zheng)級別(bie)

SRM610 玻璃(li)基(ji)質標準(zhun)品最核(he)心的(de)價值(zhi)在於其精(jing)心(xin)設計的(de)微量元(yuan)素(su)組(zu)成。NIST向玻璃(li)基(ji)體(ti)中添加了(le)61種(zhong)微量元(yuan)素(su)，每(mei)種元(yuan)素(su)的(de)標稱(cheng)質量分數在(zai)100 mg/kg至500 mg/kg範(fan)圍(wei)內(nei)。

 NIST根(gen)據科學(xue)性和(he)精(jing)確度(du)，為這(zhe)些元(yuan)素(su)提(ti)供了(le)不(bu)同級別(bie)的(de)認(ren)證(zheng)：

 認(ren)證(zheng)值(zhi)：包(bao)括銻、砷(shen)、鋇、鎘、鉻(ge)、錳(meng)、硒和(he)銀(yin)等15種元(yuan)素(su)，這(zhe)是(shi)NIST具(ju)信心(xin)的量值，所有已(yi)知(zhi)偏(pian)差(cha)來(lai)源都(dou)已被調(tiao)查或考慮。 

 參(can)考值(zhi)：針對銅和(he)TI兩種元(yuan)素(su)，這(zhe)些值(zhi)是(shi)基(ji)於現有(you)數據的真(zhen)實值的最佳(jia)估計，但(dan)未(wei)完(wan)l全達到NIST認(ren)證(zheng)標準(zhun)。 

 信息(xi)值：提供(gong)七種(zhong)元(yuan)素(su)的(de)數據，但由(you)於信息(xi)不(bu)足(zu)，未(wei)評估相關不(bu)確定(ding)性(xing)-4。這(zhe)種分(fen)級認(ren)證(zheng)體(ti)系讓(rang)使(shi)用(yong)者(zhe)能(neng)夠根(gen)據不(bu)同分析(xi)需(xu)求(qiu)，選(xuan)擇(ze)適(shi)當置(zhi)信度(du)的參(can)考數據。 

使用(yong)與(yu)儲存(cun)規(gui)範(fan) 

為確保分(fen)析結(jie)果(guo)與(yu)認(ren)證(zheng)值(zhi)之(zhi)間的可靠關(guan)聯，SRM610 玻璃(li)基(ji)質標準(zhun)品有(you)壹(yi)套(tao)嚴格(ge)的(de)使用(yong)和儲(chu)存(cun)規(gui)範(fan)。建(jian)議(yi)的最小(xiao)樣(yang)品量為250毫(hao)克。每(mei)個(ge)晶圓(yuan)片在使(shi)用(yong)前都(dou)需(xu)要(yao)進(jin)行細致(zhi)的(de)表(biao)面(mian)清潔(jie)：

先(xian)用(yong)乙醇擦(ca)拭，然後(hou)在(zai)稀(xi)釋(shi)的(de)硝(xiao)酸（1：10 HNO₃）中進(jin)行溫和(he)的(de)表(biao)面(mian)清潔(jie)（非蝕(shi)刻）。這(zhe)壹酸洗步驟(zhou)尤(you)為關(guan)鍵，可以去除(chu)使用(yong)銅結(jie)合(he)金(jin)剛石砂輪切(qie)割(ge)時可能(neng)產(chan)生(sheng)的銅汙染。未(wei)使用(yong)的材料(liao)應存放(fang)在原(yuan)始(shi)容(rong)器(qi)中，並(bing)置(zhi)於陰涼幹燥處。

遵循(xun)這(zhe)些儲(chu)存(cun)條件(jian)，SRM 610的認(ren)證(zheng)在(zai)規(gui)定的(de)測量不(bu)確定(ding)度(du)範(fan)圍(wei)內(nei)是(shi)無(wu)限(xian)期有(you)效的(de)。

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